5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术，性能优异，十分便于使用。它可对等离子放电室内的压力，电流、电压和频率等进行集成式模拟监控，并可对等离子体发出的光进行分析，从而获得最高程度的工艺可靠性。

设备采用用户界面友好的触摸屏操控，和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。